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本書將以本研究群多年來教學與研究成果的實例,來說明設計的3D CMOSFET與 FinFET元件與電路,物性與電性模擬結果的解讀與分析,簡明易懂,而非直接使用原廠Sentaurus TCAD v. 2014內建繁複之範例。此書所教授的三維TCAD模擬CMOS奈米電子元件的設計與模擬技術,在半導體產業與半導體學術研究中具有相當的實用性、代表性,並可增進前瞻半導體元件開發。同時亦可深入了解半導體元件物理,與半導體工程所學內容的實踐性。適合從事半導體奈米元件,研究開發的碩博士研究生修習,以及相關半導體產業界工程師與相關專家參考。
- 第1章 半導體元件設計及模擬導論(第1頁)
- 1.1 前言(第2頁)
- 1.2 摩爾定律(Moore,s Law)與鰭式電晶體(FinFET)的介紹(第4頁)
- 1.3 Synopsys Sentaurus TCAD軟體與工作環境(Copyright © Synopsys, Inc. All rights reserved.)(第9頁)
- 1.4 Sentaurus Workbench用於TCAD工作任務項目管理和視窗化的環境(第14頁)
- 1.5 Synopsys Sentaurus TCAD的操作介面(第14頁)
- 1.6 模擬計畫的預覽(Project View)(第15頁)
- 1.7 Sentaurus Visual視覺化軟體(第16頁)
- 1.8 Structure Editor元件設計(第17頁)
- 1.9 虛擬製程整合半導體元件的技術(第18頁)
- 1.10 元件模擬工具(第19頁)
- 1.11 校正與服務(Calibration and Services)(第19頁)
- 第2章 金氧半場效應電晶體之二維模擬與分析(第21頁)
- 2.1 互補式金氧半場效應電晶體(CMOSFET)(第22頁)
- 2.2 二維金氧半場效應電晶體(2D MOSFET)之模擬(第26頁)
- 2.3 總結(第113頁)
- 第3章 三維鰭式場效電晶體(3D FinFET, Lg = 15 nm)模擬分析(第115頁)
- 3.1 FinFET簡介(第116頁)
- 3.2 臨界電壓(Vth),漏電流(Ioff),功率消耗(Power)之設計考量(第119頁)
- 3.3 高介電材料(High-k Dielectric Materials)與金屬閘極(Metal Gate)設計考量(第122頁)
- 3.4 元件閘極Gate設計考量(第124頁)
- 3.5 TCAD設計導向說明(第127頁)
- 3.6 FinFET3D模擬(第131頁)
- 第4章 反相器(Inverter)和靜態隨機存取記憶體(SRAM of3D FinFET, Lg = 15 nm)模擬分析(第197頁)
- 4.1 COS inverter結構與特性(第198頁)
- 4.2 COMS inverter反相器電壓轉換曲線(第199頁)
- 4.3 反相器速度 傳遞延遲(Propagation Delay)與Ion的關係(第201頁)
- 4.4 CMOS Id-Vg匹配圖(第202頁)
- 4.5 靜態記憶體單元(SRAM)的TCAD模擬(第209頁)
- 4.6 SRAM之操作(第210頁)
- 第5章 環繞式閘極奈米線電晶體(GAA NWFET)之模擬與分析(第227頁)
- 5.1 環繞式閘極(Gate-all-around; GAA)電晶體的簡介(第228頁)
- 5.2 環繞式閘極應用:3D堆疊GAA NWFET(第231頁)
- 5.3 如何設計與模擬3D GAA NWFET(第234頁)
- 第6章 無接面場效電晶體Junctionless FET (JL-FET)(Lg = 10 nm , N10)(第249頁)
- 6.1 前言(第250頁)
- 6.2 CMOS元件之短通道效應(Short Channel Effect; SCE)(第250頁)
- 6.3 JL-FET操作機制(第252頁)
- 6.4 如何使用Synopsys Sentaurus TCAD 2014 version設計與模擬3D JL-FET(第255頁)
- 第7章 穿隧式場效應電晶體(Tunnel FET)(第267頁)
- 7.1 傳統場效應電晶體(Conventional FET)所遭遇之問題(第268頁)
- 7.2 穿隧式場效應電晶體(Tunnel FET; TFET)之操作機制(第269頁)
- 7.3 如何設計與模擬3D TFET(第275頁)
- 7.4 總結(第288頁)
- 第8章 Lg = 3 nm鰭式電晶體與超薄主動層電晶體之模擬(第291頁)
- 8.1 前言(第292頁)
- 8.2 Silicon 3 nm Gate Length Bulk FinFET(第294頁)
- 8.3 Germanium 3 nm Gate Length Bulk FinFET(第300頁)
- 8.4 Silicon and Germanium UTB (1 nm) JLFET with Ultra-Short Gate Length = 1 nm、3 nm(第305頁)
- 8.5 總結(第311頁)
- 附錄 Synopsys Sentaurus TCAD軟體安裝以及環境設定(第313頁)
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