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科儀新知 [第222期]:薄膜材料應用與發展
- 點閱:58
- 並列題名:Instruments today
- 作者: 國家實驗研究院儀器科技研究中心編
- 出版社:國家實驗研究院儀器科技研究中心
- 出版年:2020.03
- ISSN:1019-5440
- 格式:PDF
- 附註:季刊
租期7天
今日租書可閱讀至2021-03-14
本期內容簡介
薄膜材料應用與發展
隨著奈米材料與半導體元件技術的持續發展,真空薄膜技術廣泛應用於學術研究與相關產業製程需求。本期封面為國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心以離子束輔助電子槍蒸鍍系統所製鍍之我國福衛五號衛星銀反射主鏡。
- 智慧機械(第4頁)
- 新一代奈米電漿材料-氮化鈦(第4頁)
- 淺談近年光學薄膜之應用(第13頁)
- 原子層沉積製程技術於能源材料之應用(第35頁)
- 封閉式高能磁控濺鍍系統鍍製透明硬膜之技術開發(第48頁)
- 電漿氮化法製備超薄氮化矽緩衝層於InN奈米柱成長之研究(第63頁)
- 基於機器學習之kMLLS聚類演算法及其在薄膜電子損失譜之應用(第79頁)
- 智慧機械與數位製造3D列印的發展(第92頁)
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